1、预处理系统：单晶硅超纯水设备特设了三级预处理系统。特别适合自来水盐度高、硬度大、固体杂质较多、氯含量较高地区的客户，使用极其方便、经济。该设备采用了“层层保护、逐级过滤”的先进设计理念。
2、反渗透系统：采用高透水率的反渗透RO膜、该反渗透膜具有极强筛分功能，透水量稳定等功能，在系统既定压力下，能精密滤除水中的细菌、病毒、盐恽贴淑溪类及各种微小物质。脱盐率≥99%。为了增加反渗透系统的使用寿命、该系统中配套设置了自动清洗、自动加药等功能，有效预防反渗透膜结垢堵塞，为设备高效稳定的运行提供了双重保障。
3、超纯化设备：采用优质核级树脂抛光混床，使水中离子去除率达到99%。水质电阻率达到18.MΩ.CM以上，满足了半导体、单晶硅等行业的高纯水指标。
4、单晶硅生产过程中对水质的要求较高，因此我们在设计单晶硅超纯水设备工艺时要十分严格，确保出水水质能够符合单晶硅生产用水要求。
