XPS是一种常见的分镙龟陛鹜析物质组成的方法，不仅可以分析物质的元素组成，还可以分析元素的化合价。
XPS主要有两种样品鲽判砦吟制备方法。
第一，压片的方法。当样品比较多的时候可以采取这种方法，这样测试结果更为可靠。具体操作就是将样品磨成细小粉末，均匀铺在铝箔上，盖上一片铝箔，用液压机压平，用剪刀剪成一定形状，揭开，就可以等待测试了。
第二，硅片制样。该法对制样要求较高，适用于样品较少的情况。具体操作就是将溶液状态的样品滴加在清洁的硅片上，烘干，即可测试。尽量滴加浓一些，这样可以减少污染物的影响。
